臭氧和其他气体通过扩散膜扩散到感应电极上 。控制电路在感应电极和对电极之间维持一个足以开始化学反应的电压  ，在臭氧的作用下产生的电化学反应在两极之间形成电流 。这一电流的强度与臭氧的浓度成比例  ，并且是可逆的 。控制电路还在感应极和对电极之间形成偏置电平  ，这种电平在两极之间不形成电流  ，臭氧传感器(O3传感器）的快速反应使它能够对周围空气进行实时连续的检测 。

　　臭氧传感器(O3传感器）采用了电化学的检测原理  ，主要是通过测量目标气体进入传感器内部  ，在感应电极处发生化学反应时产生的电流大小  ，从而达到检测其浓度的目的 。该传感器实际上是由感应电极和负电极组成的一燃料电池元件  ，无需保养且长期稳定 。由于地表臭氧主要来源于工业和汽车废气  ，因此  ，臭氧传感器(O3传感器）主要的目的是针对排放和空气质量监测以及与消毒有关的安全检测中 。

　　1稳定性

　　稳定性是指臭氧传感器(O3传感器）在整个工作时间内基本响应的稳定性  ，取决于零点漂移和区间漂移 。零点漂移是指在没有臭氧时  ，整个工作时间内传感器输出响应的变化 。区间漂移是指传感器连续置于臭氧中的输出响应变化  ，表现为传感器输出信号在工作时间内的降低 。理想情况下  ，一个传感器在连续工作条件下  ，每年零点漂移小于10[[%]] 。

　　2灵敏度

　　灵敏度是指传感器输出变化量与被测输入变化量之比  ，主要依赖于传感器结构所使用的技术 。大多数气体传感器的设计原理都采用生物化学、电化学、物理和光学 。首先要考虑的是选择一种敏感技术  ，它对目标气体的阀限制或低爆炸限的百分比的检测要有足够的灵敏性 。

　　3选择性

　　选择性也被称为交叉灵敏度 。可以通过测量由某一种浓度的干扰气体所产生的传感器响应来确定 。这个响应等价于一定浓度的臭氧所产生的臭氧传感器(O3传感器）响应 。这种特性在追踪多种气体的应用中是非常重要的  ，因为交叉灵敏度会降低测量的重复性和可靠性  ，理想传感器应具有高灵敏度和高选择性 。

　　4抗腐蚀性

　　抗腐蚀性是指臭氧传感器(O3传感器）暴露于高体积分数目标气体中的能力 。在气体大量泄漏时  ，探头应能够承受期望气体体积分数10~20倍 。在返回正常工作条件下  ，传感器漂移和零点校正值应尽可能小 。